CaDemPo

Développement d’une plateforme technologique pour transducteurs et capteurs déposés sur membranes polymères

Ce projet a eu pour but de développer une nouvelle plateforme technologique basée sur des techniques de fabrication simples pour la fabrication de transducteurs et capteurs sur membranes polymères.

En effet, les méthodes traditionnelles d’usinage et de structuration de couches pour réaliser des transducteurs sont limitées lorsqu’il s’agit d’intégration sur substrats polymères de faibles épaisseurs tels que les membranes. Les transducteurs sur membranes répondent à un besoin dans un nombre croissant d’applications, notamment en bio-ingénierie. La problématique de ce projet s’est inscrite autant dans une dimension technologique qu’une dimension appliquée. Son contexte est ainsi double: le développement de nouveaux procédés de fabrication de transducteurs et capteurs sur membranes en polymères, ainsi que leur potentiel d’application pour les systèmes de test sur cultures in vitro.

Ce projet a permis le développement d’une plateforme technologique, c'est-à-dire une série de procédés de fabrication combinables entre eux, permettant la fabrication de transducteurs et capteurs sur membranes polymères à l’aide de nouvelles techniques de fabrication simples, puis de démontrer leur intérêt et en réalisant divers types de microsystèmes sur ce type de substrats.

Trois buts spécifiques ont été fixés. Les points suivants rappellent ces buts :

• Maîtrise des procédés de dépose multicouches et application à un capteur de débit.
• Maîtrise de l’association des procédés de dépose multicouches avec un procédé disponible uniquement dans une autre technologie, puis application à la fabrication d’un réseau de microélectrodes transparentes.
• Démontrer l’utilisation de la membrane polymère comme élément sensible pour capteur de grandeur mécanique, puis appliquer à un capteur de pression.