Le laboratoire de couches minces et microfabrication est spécialisé dans le dépôt et l’analyse de couches minces, ainsi que dans la microfabrication de structures par procédés de photolithographie UV et attaques chimiques.
Les dépôts de couches minces se font principalement par PVD (sputtering et évaporation). Les couches peuvent composées de métaux (Cr, Ni, Al, etc.) ou d’oxydes (PZT, SiO2, IZO, etc.) et déposées avec une uniformité d’épaisseur pouvant descendre en-dessous de 5 %, sur des surfaces allant jusqu’à 4’’. Certains matériaux peuvent être déposés de manière épitaxiale sur des substrats adéquats.
Le laboratoire possède une aligneuse maskless Heidelberg µMLA qui peut effectuer de la photolithographie UV «grayscale» et mettre en forme des résines photosensibles sur 256 niveaux, permettant, par exemple, de réaliser des éléments optiques diffractifs.
Responsable du laboratoire