visuel bandeau labo inSTI

Laboratoire de couches minces et microfabrication

Laboratoire de couches minces et microfabrication

Le laboratoire est spécialisé dans le dépôt et l’analyse de couches minces (épitaxiales ou non) de métaux et d’oxydes sur wafer jusqu’à 4 inches (PVD, PECVD)

Équipement(s): 
  • Aligneuse de masques Karl Suss MA56
  • Banc à flux laminaire avec spin coater, bain à ultrasons et plaques chauffantes

Contact

Responsable du laboratoire

HEPIA
Rue de la Prairie 4
1202 Genève
Suisse
  • Institut inSTI
    • Micro-Nanotechnologie