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Laboratoire de couches minces et microfabrication

Laboratoire de couches minces et microfabrication

Le laboratoire de couches minces et microfabrication est spécialisé dans le dépôt et l’analyse de couches minces, ainsi que dans la microfabrication de structures par procédés de photolithographie UV et attaques chimiques.

Les dépôts de couches minces se font principalement par PVD (sputtering et évaporation). Les couches peuvent composées de métaux (Cr, Ni, Al, etc.) ou d’oxydes (PZT, SiO2, IZO, etc.) et déposées avec une uniformité d’épaisseur pouvant descendre en-dessous de 5 %, sur des surfaces allant jusqu’à 4’’. Certains matériaux peuvent être déposés de manière épitaxiale sur des substrats adéquats.

Le laboratoire possède une aligneuse maskless Heidelberg µMLA qui peut effectuer de la photolithographie UV «grayscale» et mettre en forme des résines photosensibles sur 256 niveaux, permettant, par exemple, de réaliser des éléments optiques diffractifs.

Équipement(s): 
  • Trois chambres de dépôt par sputtering équipées de chauffage à lampe permettant d’atteindre une température de substrat de 850 °C sous oxygène et permettant des dépôts en géométrie off-axis ou confocal
  • Une chambre de dépôt par évaporation thermique haute et basse température
  • Un laboratoire de microfabrication (salle grise) avec:
    • bancs à flux laminaire
    • spin-coater
    • aligneuse de masques Karl Suss MA56
    • aligneuse maskless Heidelberg µMLA (équipée du module Raster Scan, photolithographie «grayscale»)

Contact

Responsable du laboratoire

HEPIA
Rue de la Prairie 4
Salle A.2.24
1202 Genève
Suisse