Le laboratoire est spécialisé dans le dépôt et l’analyse de couches minces (épitaxiales ou non) de métaux et d’oxydes sur wafer jusqu’à 4 inches (PVD, PECVD)
Équipement(s):
Aligneuse de masques Karl Suss MA56
Banc à flux laminaire avec spin coater, bain à ultrasons et plaques chauffantes
