Laboratoire de couches minces et microfabrication
- Photolithographie UV avec aligneuse maskless (grayscale 256 niveaux disponible)
- Dépôt de couches minces par sputtering RF sur substrats jusqu’à 4’’, pouvant être chauffés jusqu’à 850 °C sous atmosphère oxydante, configurations off-axis ou confocal
- Dépôt de couches minces par évaporation thermique basse et haute température
Laboratoire de nanotechnologie et de photoluminescence
- Caractérisation topographique de surfaces et de couches minces avec des résolutions latérales et verticales nanométriques (AFM et IOM)
- Développement d’instruments de mesure adaptés au monde micro/nano
- Caractérisation de dureté et de module d’élasticité de surface par micro et nanoindentation, statique et dynamique (profil en profondeur)
Laboratoire d’optique appliquée à l’échelle micro- et nano-métrique
- Tomographie optique multi-spectrale à fluorescence (OPT) avec champ de vue de 2 à 25 mm2 par projection et résolution spatiale <10 μm
- Microscopie multi-couleurs à champ clair d’échantillons d’histopathologie
- Microscopie par holographie digitale avec résolution cellulaire
- Développement de capteurs de température distribuées en fibre optique
- Développement de sources lasers et méthodes de spectroscopie optique (fluorescence, Raman)
- Développement de système d’imagerie et de détection optique à bas coût