Matériaux, optique et nanotechnologie

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Laboratoire de couches minces et microfabrication

  • Photolithographie UV avec aligneuse maskless (grayscale 256 niveaux disponible)
  • Dépôt de couches minces par sputtering RF sur substrats jusqu’à 4’’, pouvant être chauffés jusqu’à 850 °C sous atmosphère oxydante, configurations off-axis ou confocal
  • Dépôt de couches minces par évaporation thermique basse et haute température

Laboratoire de nanotechnologie et de photoluminescence

  • Caractérisation topographique de surfaces et de couches minces avec des résolutions latérales et verticales nanométriques (AFM et IOM)
  • Développement d’instruments de mesure adaptés au monde micro/nano 
  • Caractérisation de dureté et de module d’élasticité de surface par micro et nanoindentation, statique et dynamique (profil en profondeur)

Laboratoire d’optique appliquée à l’échelle micro- et nano-métrique

  • Tomographie optique multi-spectrale à fluorescence (OPT) avec champ de vue de 2 à 25 mm2 par projection et résolution spatiale <10 μm
  • Microscopie multi-couleurs à champ clair d’échantillons d’histopathologie
  • Microscopie par holographie digitale avec résolution cellulaire
  • Développement de capteurs de température distribuées en fibre optique
  • Développement de sources lasers et méthodes de spectroscopie optique (fluorescence, Raman)
  • Développement de système d’imagerie et de détection optique à bas coût